導致真空泵極限壓力不達標導致運轉不正常的原因有很多,可能由外漏、內漏、油孔堵塞、泵油質量不良或污染變質、有水汽等可凝性物質、儀器儀表失真等引起。
在真空泵維修中遇到的情況是外漏較多時,排氣口可看到白色蒸汽。油標處有較多氣泡,手在排氣口上可感到排氣壓力。低級排氣閥處油面有較多氣泡。功率會有所增加。這時,首先應檢查氣鎮閥是否已關好。由于新泵出廠每臺都在泵口測極限壓力,所以如有外漏現象,應對泵口及管道、閥門、容器逐一檢查。外軸封失效、油杯無油、油孔悶頭漏氣也可造成外漏。
內漏可由泵內的運動間隙、排氣閥座平面、排氣閥的密封面、內軸封、泵蓋平面、進氣管、氣鎮閥密封件等引起。磨損、腐蝕、咬合會使運轉間隙加大。油孔阻塞時,打開加油孔聽,泵的噪聲會較輕,在油箱密封良好的情況下,如果手在排氣口上有被吸的感覺,排氣閥可能失效。
如果真空泵油清潔,長期存放未用,可開氣鎮閥凈化泵內水汽。若無效,要檢杏儀表。若泵油發黃發白已乳化,可全開氣鎮,調大氣鎮量凈化運轉,必要時可在泵口放入適量氣體運轉,可加快凈化過程。若抽入其他揮發性氣體或液體,要及時換油,必要時請洗油箱。有些泵,在級間氣道里會沉積泵液,為取得好的換油效果,要設法把沉積泵液排出。
真空泵極限壓力是用座式壓縮式水銀真空計測量的。用經校準的熱偶真空計等全壓力計測量時,測得值會增加。注意熱偶真空計的規管要配對校準。建議備用一只同時校準的規管,以備懷疑規管污染失真時進行對比。極限壓力升高會使高真空時段的抽氣效率下降,也會使極限全壓力升高。可以參照上述介紹來判斷、檢查、處理抽氣效率下降和極限全壓力升高的故障。
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